近日，北工投资在管京国盛基金投资项目东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司(以下简称“东方晶源”)自主研发的新一代EOS取得突破性成果，率先实现国产EOS在高端量测检测领域的应用，为国产电子束量测检测技术的发展进一步夯实了基础。
电子束量测检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一，深度参与光刻环节、对制程节点敏感并且对最终产线良率起到至关重要的作用。其最为核心的模块为电子光学系统(Electron Optical System，简称EOS)，决定设备的成像精度和质量，进而决定设备的性能。在电子束量测检测领域，东方晶源始终坚持自主研发，不断深化研发投入。日前，东方晶源自主研发的新一代EOS“三箭齐发”，取得突破性成果，成功搭载到旗下电子束缺陷复检设备(DR-SEM)、关键尺寸量测设备(CD-SEM)、电子束缺陷检测设备(EBI)，率先实现国产EOS在高端量测检测领域的应用，助力产品性能实现进一步的攀升。
北工投资作为北京国资公司旗下私募基金管理平台，主要承担着高精尖基金及京国盛基金两大母基金的管理，母子基金总规模逾300亿元。近年来，北工投资以服务北京国际科技创新中心建设为己任，深入研究首都高精尖产业，通过基金投资以及代持政府资金投资等方式，超前进行集成电路产业链规划布局，先后投资了龙芯中科、科华微电子、中芯北方、有研硅、东方晶源等半导体产业龙头企业，覆盖了从芯片设计、晶圆制造、芯片封测到材料与装备制造的集成电路产业链关键环节。
未来，北工投资将在北京国资公司的指导下，坚持聚焦新质生产力，全面助力科技创新型企业关键核心技术有效落地和产业应用，为我国实现高水平科技自立自强贡献北京国资力量。
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